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產品概覽
核心優勢
全自動化：同時配備自動上料機、自動下料機，匹配信息化管理要求與無人化管理趨勢。
防止整線宕機：作業軌/傳輸軌分離，單臺停機不影響整線運行。
滿足信息化管理需求：實時MES系統對接，上傳生產狀態信息，系統異常狀態報警。支持SECS/GEM半導體通訊協議。
嚴格溫控：在晶圓流轉與作業全過程中對溫度進行精細管控并自動校正，滿足CUF工藝需求的同時，保障產品生產。
百級防塵設計?專用于環保車間（通過建模與仿真，配置防塵部件及線纜，氣體過濾等）；
ESD防靜電設計（符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20標準) ；
防震動（礦物質框架，具有良好吸震性，有效減少高速運動帶來的沖擊）。
系統組成
規格參數
RS-100 | 基本參數 |
外形尺寸 mm | 960×1240×1467（W*D*H） |
重量 kg | 標準機：900 |
用電需求 | 電壓220V，50HZ，電流16A |
氣壓需求MPa | 最小氣壓0.6 |
設備功耗W | ≦2500 |
有效行程 mm | X550*Y510 |
軌道高度mm | 900±30 |
軌道承重（含載具）Kg | 4.5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
軸數 | X、Y、Z |
驅動方式 | X/Y/Z軸采用伺服馬達+精密滾珠絲桿 |
定位精度 | ±15um(X\Y)；±15um(Z) |
重復精度 | ±10um(X\Y)；±10um(Z) |
最大速度mm/s | 1000(X/Y)；300(Z) |
最大加速度 | 1g(X/Y)；0.3g（Z） |
視覺定位系統 | 工業CCD |
計算機及軟件 | Windows 系統開發下軟件 |
